PRODUCTS製品情報

製品特徴

プラットホーム

ウェハの両面同時処理が可能であるため、ウェハ裏面の汚染を防止でき、ウェハ裏面の後処理を省略できます。マルチカップ方式及び各カップにおける連続数次処理により、ハイスループットを実現します。コストパフォーマンスに優れた装置です。　

プロセスユニット

###酸系薬液用処理モジュール、アルカリ系薬液用処理モジュール、有機系薬液用処理モジュールを用意し、お客様ニーズに合わせた装置構成にも対応可能です。

###２流体タイプのスプレーノズルや超音波スプレーノズルなども搭載可能であり、8""および12"" の口径に対応いたします。

操作性

視認性に優れたインターフェースを採用しています。