PRODUCTS製品情報

製品特徴

プラットホーム

###SPR3000シリーズは、カセットtoカセットで200ｍｍ～300ｍｍウェハに対応可能な全自動処理装置です。

###さらに、プロセスユニットを自由にレイアウトできる設計のため、お客様のプロセスやスペースにも柔軟に対応できます。

プロセスユニット

###コータ

###塗布プロセスに対して、スピンコート部／ベークプレート部の組み合わせによる汎用コータの構成から、回転カップ部／スピンレスコート部等を組み合わせた特殊コータの構成まで対応可能で、数μｍ～100μｍの膜厚形成が可能です。

###デベロッパ

###現像プロセスに対して、高速現像ユニットを準備しています。　

###厚膜レジストの長時間現像を高速で処理します。（１/２～１/３）

###ベーク

###オーバーベーク機構搭載　最大16個設置可能

###クールプレート

###高粘度塗布対応

###厚膜塗布対応

###高温ベーク搭載可能（オプション）

操作性

###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単に行えます。