PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

CENOTE®洗浄装置

枚葉式エッチング・洗浄システム
CENOTE® 枚葉式エッチング・
洗浄システム

 枚葉式洗浄システムCENOTE®は、マルチカップ方式を採用した多機能枚葉式洗浄装置

です。クリーンな液体をウェハ表面に連続供給すると同時に、薬液の種類、混合比率、流

量、温度を正確にコントロールすることにより高清浄度洗浄、精密エッチングを実現します。

製品特徴

プラットホーム

 ウェハの両面同時処理が可能であるため、ウェハ裏面の汚染を防止でき、ウェハ裏面の後処理を省略できます。マルチカップ方式及び各カップにおける連続数次処理により、ハイスループットを実現します。コストパフォーマンスに優れた装置です。 

プロセスユニット

###酸系薬液用処理モジュール、アルカリ系薬液用処理モジュール、有機系薬液用処理モジュールを用意し、

お客様ニーズに合わせた装置構成にも対応可能です。

###2流体タイプのスプレーノズルや超音波スプレーノズルなども搭載可能であり、8""および12"" の口径に

対応いたします。

操作性

 視認性に優れたインターフェースを採用しています。

製品規格

適用ワーク
φ200 & 300 mmウェーハ

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アプリシア事業 営業課

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