PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

PLP 対応大気搬送ロボット

サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
PLP 対応 サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
シングル

本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。

製品特徴

###ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。

###最大到達距離:1500mmまで対応しております。

製品規格

対象ワーク
角基盤 300~650㎜
動作軸
R軸/T軸/Z軸/S軸
動作範囲
R:アーム最大到達距離 760mm(旋回中心より)T:±185degZ:500mmS:2000mm
動作時間
R:1.8sec/フルストローク(-520mm~760mm)T:2.0sec/180degZ:1.5sec/500mmS:2.5sec/2000mm
繰り返し精度
R:±0.2mmT:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
駆動モーター
ACサーボモーター
速度制御方式
S字加減速制御
通信仕様
RS232C/ETHERNET
ユーティリティ
動力:コントローラーより供給VAC:-80kPa以下 15L/min以上Φ6ワンタッチ継手 2系統
質量
ロボット    約110kgスライドレール 約220kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
PLP 対応 サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
ダブル

本製品は、PLPに特化したダブルアームロボットになります。

製品特徴

###ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。

###最大到達距離:1500mmまで対応しております。

製品規格

対象ワーク
角基盤 300~650mm
動作軸
R1軸/R2軸/T軸/Z軸/S軸
動作範囲
R:アーム最大到達距離 760mm(旋回中心より)T:±185degZ:500mmS:880mm
動作速度
R1軸・R2軸:1.5sec/1175mmT:1.8sec/180degZ:2.0sec/500mmS:1.5sec/880mm
繰り返し精度
R1軸・R2軸:±0.1mm、T:±0.03degZ:±0.1mmS:±0.25mm
駆動モーター
ACサーボモーター
速度制御方式
S字加減速度変更方式パネルジェネレータ制御
通信仕様
RS232C/ETHERNET
ユーティリティ
真空:-80kPa以下(Φ6×Φ4チューブ ワンタッチ継手接続)2系統動力:ロボットコントローラーより供給
質量
ロボット     約140kgスライドレール  約150kg

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