PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
TT301A-RAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-RA
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###独自の高速入替機構により､ウェーハ入替時間を50％削減しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：430㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) Z軸：±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kg コントローラ(TT301A)：約10kg
TT301A-WAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-WA
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：346㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜"
- 繰返し精度
- R軸：±0.1㎜ （3σ)T軸：0.02deg （3σ)Z軸：±0.05㎜ （3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kgコントローラ(TT301A)：約10kg
TT301A-WBシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-WB
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：250㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜
- 繰返し精度
- R軸：±0.1㎜ （3σ)T軸：0.02deg （3σ)Z軸：±0.05㎜ （3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約34kgコントローラ(TT301A)：約10kg
TT301A-SAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-SA
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：346㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜"
- 繰返し精度
- R軸：±0.1㎜ （3σ)T軸：0.02deg （3σ)Z軸：±0.05㎜ （3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kgコントローラ(TT301A)：約10kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118
