PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
MTEシリーズ
サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTE-E
本製品は､φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###3FOUPにレールレスで対応します。
###チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：590㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：0.02deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC208V 5A 1系統 ：単相AC100V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約50kgコントローラ(MCE)：約18kg
MTEシリーズ
サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTE-C
本製品は､φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：430㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：0.05deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約60kgコントローラ(MCE)：約18kg
MTEシリーズ
サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTE-D
本製品は､φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：480㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：185deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：±0.1deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約60kgコントローラ(MCE)：約18kg
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ300㎜～Φ450㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：590㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：0.05deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約65kgコントローラ(MCE)：約18kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118
