PRODUCTS製品情報

製品特徴

プラットホーム

###自社製ロボット、アライナー、及びロードポートを組み合わせ、業界標準EFEM及びカスタマイズEFEMを提供致します。

###本製品によりウェハの自動搬送に関するお客様の設計・製造リソースを大きく削減することができます。

###4～12インチウェハをはじめ、PLP用各基盤等、あらゆるウェハの自動搬送が可能です。

###特殊ウェハ搬送にも対応しており、吸着/グリップ方式、ハンド形状、アライメント方式等、長年の経験を活かしたソリューションをご提案致します。

###RS232C,TC/PIP等の搭載ユニットとの通信対応をはじめ、SECS/GEM等の工場内通信対,OHT/E84,AGV等の通信にも対応可能です。