PRODUCTS製品情報

製品特徴

プラットホーム

ウェハの両面同時処理が可能であるため、ウェハ裏面の汚染を防止でき、ウェハ裏面の後処理を省略できます。マルチカップ方式及び各カップにおける連続数次処理により、ハイスループットを実現します。コストパフォーマンスに優れた装置です。　

プロセスユニット

###酸系薬液用処理モジュール、アルカリ系薬液用処理モジュール、有機系薬液用処理モジュールを用意し、お客様ニーズに合わせた装置構成にも対応可能です。

###２流体タイプのスプレーノズルや超音波スプレーノズルなども搭載可能であり、8""および12"" の口径に対応いたします。

操作性

視認性に優れたインターフェースを採用しています。

製品特徴

プラットホーム

バッチ浸漬槽での一括洗浄と枚葉処理チャンバーの精密洗浄をあわせることにより、効率的なタクトタイムで清浄な剥離処理が行えます。また、高温薬液処理、高圧スプレー処理も対応可能です。オプションとして、防爆仕様にも対応可能です。

プロセスユニット

###多種多様な有機溶媒に対応したハード構成となっています。

###8"および12" の口径に対応いたします。

操作性

視認性に優れたインターフェースを採用しています。

製品特徴

プラットホーム

高速処理を可能にする搬送システムを搭載しています。

プロセスユニット

###各種モニタを利用した管理方法により、高品質プロセスを実現します。

###オプションのリン酸再生システムのPSYRION®やNISON® 1800を搭載することで、環境対策、薬液使用量の低減に貢献します。

###プロセスモジュールを自由にレイアウトすることが可能です。

操作性

視認性に優れたインターフェースを採用しています。