PRODUCTS製品情報

製品特徴

###リン酸の調達コストを劇的に削減します。

###リン酸廃液を削減し、貴社の環境施策に貢献します。

###再生回数に制限はありません。繰り返し再生が可能です。

###複数のウェットステーション、処理槽と接続することができます。

###ウェットステーションメーカー、機種を問わず接続可能です。

###系内の自動洗浄機能を装備しています。

###各種オプションに対応します。

製品特徴

###処理槽の薬液交換後のダミー処理（溶かしこみ）が不要で生産性向上、NPWコスト削減に寄与します。

###独自開発の珪素濃度モニターを搭載しています。

###リン酸廃液中の珪素濃度を測定し、任意の珪素濃度のリン酸を生成します。

###系内の自動洗浄機能を装備しています。

###各種オプションに対応します。

製品特徴

###フィールドで長年実証されてきたプロセス性能です。

###処理槽の沸騰制御により、安定的に高いエッチングレートを維持します。

###２つの処理槽に対応するデュアルタイプもラインナップしています。