PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

PSYRION®リン酸プロセス装置

リン酸再生装置
PSYRION® リン酸再生装置

 窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的

に新液への交換が必要になります。この珪素を弊社独自の技術により除去する事でリン酸の再生・再利用が可能に

なります。PSYRION®は、先端半導体メーカー様で多数採用され、薬品コストの削減、環境対策に貢献しています。

製品特徴

             ###リン酸の調達コストを劇的に削減します。

             ###リン酸廃液を削減し、貴社の環境施策に貢献します。

             ###再生回数に制限はありません。繰り返し再生が可能です。

             ###複数のウェットステーション、処理槽と接続することができます。

             ###ウェットステーションメーカー、機種を問わず接続可能です。

             ###系内の自動洗浄機能を装備しています。

              ###各種オプションに対応します。

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アプリシア事業 営業課

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