PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

VAP洗浄装置

リフトオフシステム
VAP リフトオフシステム

リフトオフシステムVAP200™/VAP300™は、バッチ浸漬式洗浄モジュールと枚葉式洗浄モジュールを複合させたユニークな装置構成となっており、フォトレジストやフィルムの剥離処理に適した洗浄装置です。

製品特徴

プラットホーム

バッチ浸漬槽での一括洗浄と枚葉処理チャンバーの精密洗浄をあわせることにより、効率的なタクトタイムで清浄な剥離処理が行えます。また、高温薬液処理、高圧スプレー処理も対応可能です。オプションとして、防爆仕様にも対応可能です。

プロセスユニット

###多種多様な有機溶媒に対応したハード構成となっています。

###8"および12" の口径に対応いたします。

操作性

視認性に優れたインターフェースを採用しています。

製品規格

適用ワーク
φ200 & 300 mmウェーハ

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アプリシア事業 営業課

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