PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

CMPスラリー供給システムiSIS1200J

デュアルエンジン スラリー希釈混合供給システム
iSIS1200J デュアルエンジン スラリー
希釈混合供給システム

 iSIS1200Jは、2つのキャビネットそれぞれに混合部、供給部、タンクを搭載した装置です。冗長性によるダウンタイム

の防止、メンテナンス時のバックアップ運転、2種類のスラリーを1台で供給、といったフレキシブルな運用が可能です。

製品特徴

       ###2系統の混合/供給部を搭載しています。

       ###真空吸引/窒素ガス圧送による供給方式です。

       ###複数台のCMP装置への集中供給が可能です。

       ###タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。

       ###アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。

       ###手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。

       ###ポンプ供給方式への変更など各種カスタマイズに対応しています。

       ###付帯ユニット例として、ドラムキャビネット、バルブボックス、モニタリング機器、フィルター、電源盤、                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                       監視盤などをラインナップしています。

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