PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

TIGRIS®洗浄装置

バッチ式浸漬洗浄・エッチングシステム
TIGRIS® バッチ式浸漬洗浄・
エッチングシステム

 バッチ式洗浄装置TIGRIS®200及びTIGRIS®300は、200mm/300mm対応型の高機能浸漬洗浄・

エッチングシステムで、業界標準仕様に所有技術を付加しました。各種モニタを活用してのプロ

セス管理で、高品質プロセスを実現します。また、環境フレンドリー且つ、薬液使用量の低減を

実現した、リン酸再生システムのPSYRION®やNISON® 1800もオプションとして搭載可能です。

製品特徴

プラットホーム

 高速処理を可能にする搬送システムを搭載しています。

プロセスユニット

###各種モニタを利用した管理方法により、高品質プロセスを実現します。

###オプションのリン酸再生システムのPSYRION®やNISON® 1800を搭載することで、環境対策、薬液使用量の低減に貢献します。

###プロセスモジュールを自由にレイアウトすることが可能です。

操作性

 視認性に優れたインターフェースを採用しています。

製品規格

適用ワーク
φ200 & 300 mmウェーハ

お問い合わせ・ご相談

貴社名必須
部署名必須
氏名必須
メールアドレス必須
メールアドレス(確認)必須
郵便番号必須
-
都道府県必須
市区町村必須
番地必須
建物等任意
電話番号必須
- -
お問い合わせ・ご相談内容必須

個人情報保護方針をお読みいただき、同意の上送信してください。


アプリシア事業 営業課

(03)6892-5123

(03)6233-9730

TOPへ戻る