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BLEND UNIT 硅浓度调节设备

在热磷酸处理过程中，为了防止处理槽内的化学溶液旧换新之后出现的硅浓度过低，需要使用非生产性晶圆来进行浓度调整，从而导致了生产效率降低。为了解决这一问题，我司研制了一种硅浓度调节设备。该设备可精确测定废液中的硅浓度，并混合适量的磷酸，使生成任意硅浓度的磷酸成为可能。使用该设备后，化学溶液旧换新之后无需硅浓度调节即可投入使用，提高了热磷酸处理的生产性。