PRODUCTS

产品特点

平台

通过同时处理晶圆的两面，防止了晶圆背面的污染，并且可省略晶圆背面的后处理。采用了可同时对多枚晶圆进行连续的多次处理的Multi-Cup法，可以实现高产量。这些优点使其成为一款具有出色性价比的设备。

工艺单元

###我们同时准备了用于酸基和碱基化学品的处理模块，以及用于有机化学品的处理模块，并可以根据客户需求对设备配置进行变更。

###可搭载气液双流体型喷嘴或超声波喷嘴。

###同时兼容8寸和12寸的两种晶圆类型

操作性

操作界面简洁明了，易于上手。