PRODUCTS

产品特点

平台

###通过采用了TAZMO的多重配置机制，我们可以提供从单个单元到装置化的多元化的形式。

工艺单元

###可以安装机械解键合单元

###可以安装洗净机　

###各种安全使用，比如说防爆，消防方法等

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###通过采用了TAZMO的多重配置机构，我们可以提供从单个单元到装置化的多元化的形式。

工艺单元

###可以安装压力PEEL的监控　

###可以对应无tape frame(Option)

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###应对热固化/热塑性材料　(室温)机械解键合装置

工艺单元

###TAZMO独创的解键合机制　Ultra Smoothness

###贴合Dicing frame并进行处理

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###Multi Layout system; Stand alone, semi-automatic and fully automatic equipments are available.

工艺单元

###可以对应各种凹凸不平具有段差的器件

###选择式的喷嘴系统

###可以安装二流体的喷雾器

###可以安装超音波洗净机

###可选择废液罐的过滤方式

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###Multi Layout system; Stand alone, semi-automatic and fully automatic equipments are available.

工艺单元

###可能升温到250℃为止

###作为衬底的Si或Glass可以被临时键合

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。