PRODUCTS

产品特点

平台

###通过采用了TAZMO的多重配置机制，我们可以提供从单个单元到装置化的多元化的形式。

工艺单元

###可以安装机械解键合单元

###可以安装洗净机　

###各种安全使用，比如说防爆，消防方法等

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###通过采用了TAZMO的多重配置机构，我们可以提供从单个单元到装置化的多元化的形式。

工艺单元

###可以安装压力PEEL的监控　

###可以对应无tape frame(Option)

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###应对热固化/热塑性材料　(室温)机械解键合装置

工艺单元

###TAZMO独创的解键合机制　Ultra Smoothness

###贴合Dicing frame并进行处理

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###Multi Layout system; Stand alone, semi-automatic and fully automatic equipments are available.

工艺单元

###可以对应各种凹凸不平具有段差的器件

###选择式的喷嘴系统

###可以安装二流体的喷雾器

###可以安装超音波洗净机

###可选择废液罐的过滤方式

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###Multi Layout system; Stand alone, semi-automatic and fully automatic equipments are available.

工艺单元

###可能升温到250℃为止

###作为衬底的Si或Glass可以被临时键合

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###TAZMO经过多年专研涂布的技术开发，开发了专门用于硬化UV固化型的材料的最佳装置。

###全自动的从涂布到临时键合的装置。

工艺单元

###可以达成25WPH以上产量

###能达到3um或者更小的TTV（wafer的平坦度的最厚值减最小值）　 　

###通过在室温下键合（使用UV固化树脂），临河键合衬底的时候几乎不会因为热而产生影响。

###可以通过循环利用衬底来降低成本。

###我们也有让玻璃循环利用的装置。

###Dry 处理…临时键合，解键合都是全过程是dry 处理中进行的。

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###通过玻璃面用激光照射被紫外线固化材料键合了的晶圆，此时脱模层会被激光扫射后能解键合。

###由于器件上还残留着粘合剂，我们会通过PEEL机制将其剥离。

工艺单元

###可以达到25WPH以上的产量(决定于器件)

###YAG激光 　

###PEEL机制

###能对应dicing tape frame

###也可对应没有frame的规格

###全过程是dry处理

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###该单元是以机器人传输轴为中心。

###我们运用专有技术，在涂胶机上拥有久经考验的经验，可以高精度地完成比较高难度的脱模层的涂布。

工艺单元

###可以达到高产量

###溶剂桶(option)

###使用有机溶剂

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。

产品特点

平台

###该单元是横向校准以机器人传输轴为中心。

工艺单元

###溶剂桶

###清洗杯

操作性

###通过GUI屏幕简单地实现各种操作。就算繁杂的recipe也能简单地编辑。