PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

CMPスラリー供給システム粉体酸化剤(APS)溶解・供給システム

粉体酸化剤(APS)溶解・供給システム
粉体酸化剤(APS)溶解・供給システム 粉体酸化剤溶解・
供給システム

 メタルCMP工程で使用される粉体状の酸化剤(APS)に対応した装置です。

オンサイトで粉体の溶解、水溶液の濃度調整、CMPへの供給が行えます。

製品特徴

          ###粉体溶解機能付きドラムキャビネット。

          ###供給装置はNew MX2000またはiSIS1200Jがベースとなります。

          ###複数台のCMP装置への集中供給が可能です。

          ###タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。

          ###アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。

          ###手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。

          ###濃度計、フィルター搭載。

          ###粉体容器サイズ変更など各種カスタマイズに対応しています。

          ###付帯ユニット例として、バルブボックス、電源盤、監視盤などをラインナップしています。

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