PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
真空ロボット
製品特徴
###全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10＾-6Paの真空環境に対応しております。
###エンドエフェクタ部・ウェーハ把持部の材質について、ご相談下さいませ。
###昇降(Z軸)無しの仕様にも対応可能です。(ご相談下さいませ)
###ブランチ構造により、ダブルハンドの旋回半径を最小限に抑え、搬送距離は最大限長くした真空ロボットです。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ6inch MASK
- 動作範囲
- R軸：330㎜(アーム最大到達距離,エンドエフェクタを除く)T軸：370°(原点：±185°)Z軸：104㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜Z軸：±0.05㎜
- ウェーハ把持方法
- 落とし込み
- ウェーハ把持確認
- N/A
- 耐真空度
- 10＾-6Pa
- 通信方法
- RS232C,RS-485(シリアル通信)
- ユーティリティ
- 電源：単相 AC200V～230V±10％ 5A 1系統
- 質量
- 本体：約76kgコントローラ(MCQ)：約16kg
製品特徴
###全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10＾-6Paの真空環境に対応しております。
###エンドエフェクタ部・ウェーハ把持部の材質について、ご相談下さいませ。
###昇降(Z軸)無しの仕様にも対応可能です。(ご相談下さいませ)
###ブランチ構造により、ダブルハンドの旋回半径を最小限に抑え、搬送距離は最大限長くした真空ロボットです。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100mm～Φ300mmSEMI/JEITA規格品ウェーハ6inch MASK
- 動作範囲
- R軸：590mm(アーム最大到達距離,エンドエフェクタを除く)T軸：370°(原点：±185°)Z軸：104mm
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1mmZ軸±0.05mm
- ウェーハ把持方法
- 落とし込み
- ウェーハ把持確認
- N/A
- 耐真空度
- 10＾-6Pa
- 通信方法
- RS232C,RS-485(シリアル通信)
- ユーティリティ
- 電源：単相 AC200V～230V±10% 5A 1系統
- 質量
- 本体：約76kgコントローラ(MCQ)：約16kg
製品特徴
###全軸ACサーボモーターの採用、独自の構造により、10＾-6Paの真空環境に対応しております。
###エンドエフェクタ部・ウェーハ把持部の材質について、ご相談下さいませ。
###昇降(Z軸)無しの仕様にも対応可能です。(ご相談下さいませ)
###フリーアクセスアーム機構を採用し、真空チャンバーの直角座標アクセスが可能です。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ6inch MASK
- 動作範囲
- R軸：590㎜(アーム最大到達距離,エンドエフェクタを除く)T軸：370°(原点：±185°)W1/W2:370°(原点：±185°)Z軸：160㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜Z軸：±0.05㎜
- ウェーハ把持方法
- 落とし込み
- ウェーハ把持確認
- N/A
- 耐真空度
- 10＾-6Pa
- 通信方法
- RS232C(シリアル通信)
- ユーティリティ
- 電源：単相 AC200V～230V±10％ 25A 1系統
- 質量
- 本体：約120kgコントローラ：約20kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118
