PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

MTSRシリーズ大気搬送ロボット

ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSRシリーズ ステッピングモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTSR-3

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特徴

###マッピングセンサーも用意しております。

###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:374㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:380㎜
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:駆動 DC24V±5% 10A   :制御 DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg
ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSRシリーズ ステッピングモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTSR-4

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特徴

###2FOUPにレールレスで対応します。

###マッピングセンサーも用意しております。

###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:470㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)W軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:380㎜
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:駆動 DC24V±5% 10A  :制御 DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg

お問い合わせ・ご相談

貴社名必須
部署名必須
氏名必須
メールアドレス必須
メールアドレス(確認)必須
郵便番号必須
-
都道府県必須
市区町村必須
番地必須
建物等任意
電話番号必須
- -
お問い合わせ・ご相談内容必須

個人情報保護方針をお読みいただき、同意の上送信してください。


搬送事業 営業課

(086)239-5117

(086)239-5118

TOPへ戻る