PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

BLEND UNITリン酸プロセス装置

珪素濃度調整装置
BLEND UNIT 珪素濃度調整装置

 熱リン酸プロセスでは、処理槽内の薬液交換を行った直後には珪素濃度が低過ぎるため、ダミー処理を行う必要があり、生産

性が低下してしまうという問題が発生します。廃液中の珪素濃度を測定し、適量の新液をブレンドすることで、任意の珪素濃度

のリン酸を生成することが可能となり、液交換直後からプロセスに適用できるため、熱リン酸プロセスの生産性を向上させます。

製品特徴

   ###処理槽の薬液交換後のダミー処理(溶かしこみ)が不要で生産性向上、NPWコスト削減に寄与します。

   ###独自開発の珪素濃度モニターを搭載しています。

   ###リン酸廃液中の珪素濃度を測定し、任意の珪素濃度のリン酸を生成します。

   ###系内の自動洗浄機能を装備しています。

   ###各種オプションに対応します。

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アプリシア事業 営業課

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