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半导体制造相关设备
磷酸处理设备
BLEND UNIT 硅浓度调节设备
在热磷酸处理过程中，为了防止处理槽内的化学溶液旧换新之后出现的硅浓度过低，需要使用非生产性晶圆来进行浓度调整，从而导致了生产效率降低。为了解决这一问题，我司研制了一种硅浓度调节设备。该设备可精确测定废液中的硅浓度，并混合适量的磷酸，使生成任意硅浓度的磷酸成为可能。使用该设备后，化学溶液旧换新之后无需硅浓度调节即可投入使用，提高了热磷酸处理的生产性。
产品特点
###处理槽内化学溶液交换后无需Dummy running，提升了生产效率。为非生产性晶圆（NPW）消耗的降低做出贡献。
###搭载了我司独立开发的硅浓度监视器。
###准确测定磷酸废液中硅的浓度，计算出所需磷酸的量，使生成任意硅浓度的磷酸溶液成为可能。
###设备内的磷酸系部件可进行自动清洁。
###提供多种可选择的功能。
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