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半导体制造相关设备
半导体清洁装置
TIGRIS® 批量式晶圆浸没式清洁・刻蚀系统
批量清洗设备TIGRIS®200和TIGRIS®300是兼容200mm / 300mm晶圆的高性能浸没清洁/蚀刻系统，并将专有技术加入行业标准规格中。通过使用各种监视器来管理清洗流程，实现了高质量的晶圆清洗。此外，还可以选装环保性优良的PSYRION®和NISON®1800磷酸再生系统，减少了化学药品的使用量。
产品特点
平台
配备有可高速处理的晶圆搬运系统。
工艺单元
###通过使用各种监视器的管理方法，可以实现高质量的清洁流程。
###通过安装可选的磷酸再生系统PSYRION®或NISON®1800，助力环保措施并减少化学药品的用量。
###处理模块可以自由布置。
操作性
操作界面简洁明了，易于上手。
Specification
- 适用的加工对象
- φ200 & 300 mm晶圆
Sales Div. Apprecia Business Unit
（03）6892-5123
（03）6233-9730
