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NISON®1800 热磷酸循环设备

我司开发的NISON®1800作为热磷酸刻蚀氮化硅膜的工艺中不可或缺的设备，多年来被半导体业界所广泛采用至今。凭借其优良性能，受到了顾客们的高度赞赏。我们积极地对氮化硅膜刻蚀机制进行解析，将依存与传统经验进行控制的刻蚀处理转化为数字化控制，定义了热磷酸处理的业界标准。