PRODUCTS製品情報

半導体製造装置

TWSシリーズ貼合・剥離装置

塗布貼合装置
TWSシリーズ 塗布貼合装置

高度な3次元実装、デバイス薄化の脆弱性対策等を目的としたウェーハの極薄化を支援し、半導体パッケージングの更なる小型化、省エネを進めるために開発/設計されました。

弊社の塗付技術を駆使した均一な膜圧塗布を行い、支持体と貼合した後に紫外線で硬化させます。

製品特徴

プラットホーム

###タツモの長年のコーター開発の技術を生かし、UV硬化型材料に特化した最適な装置を開発。

###塗布から、貼合まで自動で行います。

プロセスユニット

###25WPH以上のスループットを達成

###3um以下のTTV(ウェハの平坦度適用領域での厚さの最大値と最小値の差)を達成   

###常温貼り合わせ(UV硬化樹脂を採用)により支持基板との貼り合わせの際に熱による衝撃はほとんどありません。

###支持基板を繰り返し使用する事が可能でコスト低減に貢献します。

###ガラスのリサイクル装置もご用意しております。

###ドライプロセス…貼り合わせ、剥離は完全ドライプロセスにより行われます。

操作性

###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。

製品規格

処理ワーク
■2000シリーズφ150~200mmウェーハ(±1.0)■3000シリーズφ200~300mmウェーハ(±1.0)
支持体基板
GLASS。処理ワークの0.5~1.0mmの大口径のものを推奨。
スピンカップ
搭載 (有機溶剤の使用なし)
貼り合わせ機構
搭載
カセット形式
■2000シリーズ通常OPENまたは、倍ピッチカセット■3000シリーズFOUP/FOSB
その他
安全仕様準拠
支持体剥離装置
TWSシリーズ 支持体剥離装置

マウンターによって貼合されたワークは、バッググラインドされ薄化された後に

裏面プロセス等を経て、デマウンターにて支持体とデバイスが剥離されます。

製品特徴

プラットホーム

###UV硬化型材料で貼合されたワークをGlass面からレーザーを照射し剥離層を焼き切ります。

###デバイス面上には接着剤が残りますので、PEEL機構で剥離します。

プロセスユニット

###25WPH以上のスループットを達成(デバイスによります)

###YAGレーザー   

###PEEL機構

###ダイシングテープフレーム対応

###フレームレス仕様も対応可能

###完全ドライプロセス

操作性

###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。

製品規格

処理ワーク
■2000シリーズ φ150~200mmウェーハ ■3000シリーズ φ200~300mmウェーハ
支持体基板
GLASS
レーザー
搭載
PEEL
搭載
カセット形式
OPENカセットまたはダイシングフレーム専用カセット
その他
安全仕様準拠
支持体剥離層成膜装置
TWSシリーズ 支持体剥離層成膜装置

支持体となるガラスには、あらかじめリリース層となる膜を塗布しておく必要があります。

そのため、洗浄装置で洗浄後にリリース層を塗布します。

ID管理機能によりガラスの使用された回数のカウントが可能です。

製品特徴

プラットホーム

###ロボット搬送軸を中心に、ユニットが構成されています。

###コータで実績のあるノウハウを投入し塗布の難しいリリース層液を高精度に仕上げます。

プロセスユニット

###高いスループットを達成

###キャニスターキャビネット(オプション)

###有機溶剤を使用。

操作性

###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。

製品規格

処理ワーク
■2000シリーズ φ150~200mm ガラス(±1.0) ■3000シリーズ φ200~300mm ガラス(±1.0)
使用主剤
お問合せください。
溶剤
お問合せください。
塗布カップ
お問合せください。
ベーク
お問合せください。
カセット形式
お問合せください。
その他
安全仕様準拠
支持体洗浄装置
TWSシリーズ 支持体洗浄装置

デマウンターで剥離後、回収された支持体の残渣を洗浄します。

製品特徴

プラットホーム

###ロボット搬送軸を中心に、横方向にユニットが校正されています。

プロセスユニット

###キャニスターキャビネット

###洗浄カップ

操作性

###GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。

製品規格

処理ワーク
■2000シリーズ φ150~200mm ガラス(±1.0) ■3000シリーズ φ200~300mm ガラス(±1.0)
使用主剤
お問合せください。
溶剤
お問合せください。
洗浄カップ
お問合せください。
ベーク
お問合せください。
カセット形式
お問合せください。
その他
安全仕様準拠

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プロセス1事業 営業課

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