PRODUCTS製品情報

クリーン搬送システム

大気搬送ロボット

サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
PLP 対応 サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
シングル

本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。

製品特徴

###ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。

###最大到達距離:1500mmまで対応しております。

製品規格

対象ワーク
角基盤 300~650㎜
動作軸
R軸/T軸/Z軸/S軸
動作範囲
R:アーム最大到達距離 760mm(旋回中心より) T:±185deg Z:500mm S:2000mm
動作時間
R:1.8sec/フルストローク(-520mm~760mm) T:2.0sec/180deg Z:1.5sec/500mm S:2.5sec/2000mm
繰り返し精度
R:±0.2mm T:±0.03deg Z:±0.1mm S:±0.25mm
駆動モーター
ACサーボモーター
速度制御方式
S字加減速制御
通信仕様
RS232C/ETHERNET
ユーティリティ
動力:コントローラーより供給 VAC:-80kPa以下 15L/min以上 Φ6ワンタッチ継手 2系統
質量
ロボット    約110kg スライドレール 約220kg
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
PLP 対応 サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
ダブル

本製品は、PLPに特化したダブルアームロボットになります。

製品特徴

###ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。

###最大到達距離:1500mmまで対応しております。

製品規格

対象ワーク
角基盤 300~650mm
動作軸
R1軸/R2軸/T軸/Z軸/S軸
動作範囲
R:アーム最大到達距離 760mm(旋回中心より) T:±185deg Z:500mm S:880mm
動作速度
R1軸・R2軸:1.5sec/1175mm T:1.8sec/180deg Z:2.0sec/500mm S:1.5sec/880mm
繰り返し精度
R1軸・R2軸:±0.1mm、 T:±0.03deg Z:±0.1mm S:±0.25mm
駆動モーター
ACサーボモーター
速度制御方式
S字加減速度変更方式パネルジェネレータ制御
通信仕様
RS232C/ETHERNET
ユーティリティ
真空:-80kPa以下 (Φ6×Φ4チューブ ワンタッチ継手接続)2系統 動力:ロボットコントローラーより供給
質量
ロボット     約140kg スライドレール  約150kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300Aシリーズ サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300A-RA

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。

高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###高信頼性設計による3年保証対象製品です。

###SEMI F47に対応しています。

###従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。

###独自の高速入替機構により、ウェーハ入替時間を50%削減しました。

###新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。

###従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。

###高信頼設計による3年保証対象製品です。

###2FOUPにレールレスで対応します。

###マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:430㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:330㎜
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ) Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,ETHERNET
ユーティリティ
電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統 真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg コントローラ(TT300A):約10kg
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300Aシリーズ サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300A-WA

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。

高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###高信頼性設計による3年保証対象製品です。

###SEMI F47に対応しています。

###従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。

###新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。

###従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。

###高信頼設計による3年保証対象製品です。

###マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:346㎜(アーム最大到達距離) T軸:370deg(原点:±185deg) Z軸:330㎜"
繰返し精度
R軸:±0.1㎜ (3σ) T軸:0.02deg (3σ) Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,ETHERNET
ユーティリティ
電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統 真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統 (Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg コントローラ(TT300A):約10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300Aシリーズ サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300A-WB

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。

高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###高信頼性設計による3年保証対象製品です。

###SEMI F47に対応しています。

###従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。

###新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。

###従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。

###高信頼設計による3年保証対象製品です。

###マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:250㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:330㎜
繰返し精度
R軸:±0.1㎜ (3σ)T軸:0.02deg (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,ETHERNET
ユーティリティ
電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約34kgコントローラ(TT300A):約10kg
サーボモーター仕様大気用クリーンロボット
TT300Aシリーズ サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT300A-SA

本製品は、EFEM用に開発した低価格、高性能な搬送ロボットです。

高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###高信頼性設計による3年保証対象製品です。

###SEMI F47に対応しています。

###従来機より、部品・モジュールの共通化率を高め、低価格を実現しました。

###新制御システムの採用により、高速で滑らかな動作を実現しました。

###従来機より、ロボットフットプリント15%、コントローラ容積50%のサイズダウンを実現しました。

###高信頼設計による3年保証対象製品です。

###マッピングセンサーも用意しております。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:346㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:330㎜"
繰返し精度
R軸:±0.1㎜ (3σ)T軸:0.02deg (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,ETHERNET
ユーティリティ
電源:単相AC200V~230V 7.5A 1系統真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kgコントローラ(TT300A):約10kg
サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQシリーズ サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTQ-E

本製品は、φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###3FOUPにレールレスで対応します。

###チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。

###マッピングセンサーも用意しております。

###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。

###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:590㎜(アーム最大到達距離)T軸:350deg(原点:±175deg)W軸:360deg(原点:±180deg)Z軸:300㎜P軸:180deg
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)P軸:0.02deg (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:単相AC208V 5A 1系統   :単相AC100V 7.5A 1系統真空:-80kPa以下 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約50kgコントローラ(MCQ):約18kg
MTQシリーズ サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTQ-C

本製品は、φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###2FOUPにレールレスで対応します。

###マッピングセンサーも用意しております。

###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。

###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

製品規格

適用ワーク
Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:430㎜(アーム最大到達距離)T軸:350deg(原点:±175deg)W軸:360deg(原点:±180deg)Z軸:300㎜P軸:180deg
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)P軸:0.05deg (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:単相AC200V~AC230V 5A 1系統ドライエア:0.5MPa 150L/min 以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約60kgコントローラ(MCQ):約18kg
MTQシリーズ サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTQ-D

本製品は、φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。

製品特徴

###2FOUPにレールレスで対応します。

###マッピングセンサーも用意しております。

###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。

###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

製品規格

適用ワーク
Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:480㎜(アーム最大到達距離)T軸:350deg(原点:±175deg)W軸:360deg(原点:±180deg)Z軸:300㎜P軸:185deg
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)P軸:±0.1deg (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:単相AC200V~AC230V 5A 1系統ドライエア:0.5MPa 150L/min 以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約60kgコントローラ(MCQ):約18kg
サーボモーター仕様フリーアクセスロボット
MTQシリーズ サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTQ-G

本製品は、φ450mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特徴

###2FOUPにレールレスで対応します。

###マッピングセンサーも用意しております。

###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。

###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。

製品規格

適用ワーク
Φ300㎜~Φ450㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:590㎜(アーム最大到達距離)T軸:350deg(原点:±175deg)W軸:360deg(原点:±180deg)Z軸:300㎜P軸:180deg
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)P軸:0.05deg (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:単相AC200V~AC230V 5A 1系統ドライエア:0.5MPa 150L/min 以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約65kgコントローラ(MCQ):約18kg
ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSRシリーズ ステッピングモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTSR-3

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特徴

###マッピングセンサーも用意しております。

###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:374㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:380㎜
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:駆動 DC24V±5% 10A   :制御 DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg
ステッピングモーター仕様フリーアクセスロボット
MTSRシリーズ ステッピングモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTSR-4

本製品は、Φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。

製品特徴

###2FOUPにレールレスで対応します。

###マッピングセンサーも用意しております。

###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。

製品規格

適用ワーク
Φ100㎜~Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
動作範囲
R軸:470㎜(アーム最大到達距離)T軸:370deg(原点:±185deg)W軸:370deg(原点:±185deg)Z軸:380㎜
繰返し精度
X,Y方向:±0.1㎜ (3σ)Z軸:±0.05㎜ (3σ)
ウェーハ把持方法
裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
ウェーハ把持確認
デジタル表示付き真空センサー
制御方法
RS232C,RS-485
ユーティリティ
電源:駆動 DC24V±5% 10A  :制御 DC24V±5% 3.15A真空:-80kPa以下 15L/min以上 1系統(Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続)
重量
本体:約35kg

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搬送事業 営業課

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