PRODUCTS製品情報
クリーン搬送システム
大気搬送ロボット
PLP 対応
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
シングル
本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。
製品特徴
###ワークサイズ：最大650mm角基板まで対応しております。
###最大到達距離：1500mmまで対応しております。
製品規格
- 対象ワーク
- 角基盤 300～650㎜
- 動作軸
- R軸/T軸/Z軸/S軸
- 動作範囲
- R：アーム最大到達距離 760mm（旋回中心より）T：±185degZ：500mmS：2000mm
- 動作時間
- R：1.8sec/フルストローク（-520mm～760mm）T：2.0sec/180degZ：1.5sec/500mmS：2.5sec/2000mm
- 繰り返し精度
- R：±0.2mmT：±0.03degZ：±0.1mmS：±0.25mm
- 駆動モーター
- ACサーボモーター
- 速度制御方式
- S字加減速制御
- 通信仕様
- RS232C/ETHERNET
- ユーティリティ
- 動力：コントローラーより供給VAC：-80kPa以下 15L/min以上Φ6ワンタッチ継手 2系統
- 質量
- ロボット 約110kgスライドレール 約220kg
PLP 対応
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
ダブル
本製品は、PLPに特化したダブルアームロボットになります。
製品特徴
###ワークサイズ：最大650mm角基板まで対応しております。
###最大到達距離：1500mmまで対応しております。
製品規格
- 対象ワーク
- 角基盤 300～650mm
- 動作軸
- R1軸/R2軸/T軸/Z軸/S軸
- 動作範囲
- R：アーム最大到達距離 760mm（旋回中心より）T：±185degZ：500mmS：880mm
- 動作速度
- R1軸・R2軸：1.5sec/1175mmT：1.8sec/180degZ：2.0sec/500mmS：1.5sec/880mm
- 繰り返し精度
- R1軸・R2軸：±0.1mm、T：±0.03degZ：±0.1mmS：±0.25mm
- 駆動モーター
- ACサーボモーター
- 速度制御方式
- S字加減速度変更方式パネルジェネレータ制御
- 通信仕様
- RS232C/ETHERNET
- ユーティリティ
- 真空：-80kPa以下（Φ6×Φ4チューブ ワンタッチ継手接続）2系統動力：ロボットコントローラーより供給
- 質量
- ロボット 約140kgスライドレール 約150kg
TT301A-RAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-RA
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###独自の高速入替機構により､ウェーハ入替時間を50％削減しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜ SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：430㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ) Z軸：±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kg コントローラ(TT301A)：約10kg
TT301A-WAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-WA
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：346㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜"
- 繰返し精度
- R軸：±0.1㎜ （3σ)T軸：0.02deg （3σ)Z軸：±0.05㎜ （3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kgコントローラ(TT301A)：約10kg
TT301A-WBシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-WB
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：250㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜
- 繰返し精度
- R軸：±0.1㎜ （3σ)T軸：0.02deg （3σ)Z軸：±0.05㎜ （3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約34kgコントローラ(TT301A)：約10kg
TT301A-SAシリーズ
サーボモーター仕様
大気用クリーンロボット
TT301A-SA
本製品は､EFEM用に開発した低価格､高性能な搬送ロボットです｡
高速反動、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###高信頼性設計による18ヶ月保証対象製品です｡
###SEMI F47に対応しています｡
###従来機より､部品・モジュールの共通化率を高め､低価格を実現しました｡
###新制御システムの採用により､高速で滑らかな動作を実現しました｡
###従来機より､ロボットフットプリント15％､コントローラ容積50％のサイズダウンを実現しました｡
###マッピングセンサーも用意しております。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：346㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：330㎜"
- 繰返し精度
- R軸：±0.1㎜ （3σ)T軸：0.02deg （3σ)Z軸：±0.05㎜ （3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,ETHERNET
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～230V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kgコントローラ(TT301A)：約10kg
MTEシリーズ
サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTE-E
本製品は､φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###3FOUPにレールレスで対応します。
###チェンジャー機構により、ウェーハの入れ替え動作を高速に行ないます。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：590㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：0.02deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC208V 5A 1系統 ：単相AC100V 7.5A 1系統真空：-80kPa以下 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約50kgコントローラ(MCE)：約18kg
MTEシリーズ
サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTE-C
本製品は､φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：430㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：0.05deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約60kgコントローラ(MCE)：約18kg
MTEシリーズ
サーボモーター仕様
フリーアクセスロボット
MTE-D
本製品は､φ300mmウェーハに対応した搬送ロボットです。
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモ搬送ロボットのフラグシップモデルです。
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：480㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：185deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：±0.1deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約60kgコントローラ(MCE)：約18kg
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###R・T軸とZ軸が分離構造のため、メンテナンスが容易に行なえ、昇降ロングストロークにも対応可能です。
###アーム剛性をアップさせて、450mmウェーハの搬送にも対応したモデルをラインナップしました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ300㎜～Φ450㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：590㎜(アーム最大到達距離)T軸：350deg(原点：±175deg)W軸：360deg(原点：±180deg)Z軸：300㎜P軸：180deg
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)P軸：0.05deg (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：単相AC200V～AC230V 5A 1系統ドライエア：0.5MPa 150L/min 以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約65kgコントローラ(MCE)：約18kg
製品特徴
###マッピングセンサーも用意しております。
###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：374㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：380㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：駆動 DC24V±5％ 10A :制御 DC24V±5％ 3.15A真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kg
製品特徴
###2FOUPにレールレスで対応します。
###マッピングセンサーも用意しております。
###最適ソフトウェアにより最適旋回スペースを実現し、コントローラを内蔵して省スペースを実現しました。
製品規格
- 適用ワーク
- Φ100㎜～Φ300㎜SEMI/JEITA規格品ウェーハ
- 動作範囲
- R軸：470㎜(アーム最大到達距離)T軸：370deg(原点：±185deg)W軸：370deg(原点：±185deg)Z軸：380㎜
- 繰返し精度
- X,Y方向：±0.1㎜ (3σ)Z軸：±0.05㎜ (3σ)
- ウェーハ把持方法
- 裏面真空吸着/落とし込み/エッジグリップ/ベルヌーイ
- ウェーハ把持確認
- デジタル表示付き真空センサー
- 制御方法
- RS232C,RS-485
- ユーティリティ
- 電源：駆動 DC24V±5％ 10A :制御 DC24V±5％ 3.15A真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統（Φ6 ×Φ4 ポリウレタンチューブ ワンタッチ継手接続）
- 重量
- 本体：約35kg
搬送事業 営業課
(086)239-5117
(086)239-5118
